Verfahren und Programm zur Herstellung eines elektronischen Bauelements

EP1691408 Art A3 6. Januar 2010

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1691408
Aktenzeichen: EP06002925
Anmeldetag: 14. Februar 2006
Veröffentlichung: 6. Januar 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L21/8232H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von