Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von extrem ultravioletter (EUV-) Strahlung

EP1691588 Art A3 27. Mai 2009

Anmelder: XTREME technologies GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1691588
Aktenzeichen
EP06002837
Anmeldetag
13. Februar 2006
Veröffentlichung
27. Mai 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
XTREME technologies GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik
Vertreten von
Freitag, Joachim Jena, Deutschland
93
Patente gesamt
22
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Medizintechnik & Gesundheit
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