Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen wenigstens einer Prozesskammer zum Beschichten wenigstens eines Substrats
EP1691939
Art A1
23. August 2006
Anmelder: Voith Patent GmbH, Wiessner GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1691939
- Aktenzeichen
- EP04702310
- Anmeldetag
- 15. Januar 2004
- Veröffentlichung
- 23. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B08B7/00C23C16/44B01D24/00H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Voith Patent GmbH
Wiessner GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Voith Patent
Deutsche Patentverwaltungsgesellschaft des Voith-Konzerns, bündelt geistiges Eigentum für Technologien aus Papierindustrie, Energie und Antriebstechnik.
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Vertreten von
Kunze, Klaus
Heidenheim, Deutschland
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