Verfahren und Vorrichtung zur Reaktiven Festgasplasmaablagerung

EP1692711 Art A1 23. August 2006

Anmelder: CemeCon AG, Biocell AB 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1692711
Aktenzeichen
EP04800401
Anmeldetag
24. November 2004
Veröffentlichung
23. August 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/34C23C14/35
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
CemeCon AG
Biocell AB
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Kalkoff, Ingo Witten, Deutschland
7
Patente gesamt
11
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik Kunststoff- & Polymertechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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