Laserausgangs-Lichtimpuls-Strecker

EP1692750 Art B1 27. Januar 2010

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1692750
Aktenzeichen
EP04800552
Anmeldetag
1. November 2004
Veröffentlichung
27. Januar 2010
Erteilung
27. Januar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/223
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cymer, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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