Inspektionsverfahren und Inspektionsunterstützende Vorrichtung eines Quarzprodukts in einem Halbleiterbearbeitungssystem
EP1693662
Art A1
23. August 2006
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1693662
- Aktenzeichen
- EP04787657
- Anmeldetag
- 6. September 2004
- Veröffentlichung
- 23. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N1/32G01N1/28H01L21/673H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Grosse, Rainer
Stuttgart, Deutschland
405
Patente gesamt
31
Fachgebiete
14
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Schwerpunkte