Positiv-resistzusammensetzung und Prozess zur Bildung von Strukturen unter Verwendung derselben
EP1693707
Art A1
23. August 2006
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Shinetsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1693707
- Aktenzeichen
- EP06250767
- Anmeldetag
- 13. Februar 2006
- Veröffentlichung
- 23. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039G03F7/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Shinetsu Chemical Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Vertreten von
D'Arcy, Julia
Nether Poppleton York, Großbritannien
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