Wafer-Behälter mit Türbetätigter Wafer-Rückhaltung

EP1694585 Art A2 30. August 2006

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1694585
Aktenzeichen
EP04811236
Anmeldetag
16. November 2004
Veröffentlichung
30. August 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/68B65D85/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik
Vertreten von
Geyer, Werner, Dr.-Ing München, Deutschland
167
Patente gesamt
28
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektrische Energietechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Verpackungs- & Fördertechnik
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