Metallabscheidungssystem mit mehreren Chemismen

EP1694885 Art A2 30. August 2006

Anmelder: Applied Materials, Inc., Ellwanger, Russell C., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1694885
Aktenzeichen
EP04760000
Anmeldetag
16. April 2004
Veröffentlichung
30. August 2006
Rechtsraum
EP
IPC
C25D7/12C25D17/02C25D19/00H01L21/00H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
Ellwanger, Russell C.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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