Echtzeit-Bildumbemessung für die Dynamische Digitale Photolithographie

EP1695139 Art A2 30. August 2006

Anmelder: Agilent Technologies, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1695139
Aktenzeichen
EP04814145
Anmeldetag
14. Dezember 2004
Veröffentlichung
30. August 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G03B27/42G03B27/54G03B27/62G09G5/00G02B26/00G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Agilent Technologies, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Agilent Technologies

US-amerikanischer Hersteller von Analysegeräten, Labortechnik und Diagnostiklösungen, 1999 als Ausgründung von Hewlett Packard entstanden. Schwerpunkte sind Chromatographie, Massenspektrometrie und Life-Science-Instrumente.

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