Defektminderung in einem für Dynamische Photolithographie Verwendeten Räumlichen Lichtmodulator
EP1695140
Art A2
30. August 2006
Anmelder: Agilent Technologies, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1695140
- Aktenzeichen
- EP04814155
- Anmeldetag
- 14. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 30. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03B27/42G03B27/54G02B26/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Agilent Technologies, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Agilent Technologies
US-amerikanischer Hersteller von Analysegeräten, Labortechnik und Diagnostiklösungen, 1999 als Ausgründung von Hewlett Packard entstanden. Schwerpunkte sind Chromatographie, Massenspektrometrie und Life-Science-Instrumente.
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Schoppe, Fritz
Pullach, Deutschland
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