Immersionsobjektiv
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, ASML Netherlands B.V., Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1695148
- Aktenzeichen
- EP04803213
- Anmeldetag
- 22. November 2004
- Veröffentlichung
- 28. Oktober 2015
- Erteilung
- 28. Oktober 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
ASML Netherlands B.V.
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Lorenz & Kollegen wurde 1976 von Dr. Werner Lorenz als Einzelkanzlei in Heidenheim an der Brenz gegründet, seit 2011 mit zweitem Standort in München. Schwerpunkte in Maschinenbau, Optoelektronik, Elektrotechnik, Physik und Informationstechnologie, dazu Marken- und Urheberrecht.