Vorrichtung zur Verarbeitung eines Neutralpartikelstrahls
EP1695599
Art A1
30. August 2006
Anmelder: Sem Technology Co., Ltd., Korea Basic Science Institute 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1695599
- Aktenzeichen
- EP04808243
- Anmeldetag
- 27. November 2004
- Veröffentlichung
- 30. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H05H3/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Sem Technology Co., Ltd.
Korea Basic Science Institute - Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Basic Science Institute
Das Korea Basic Science Institute ist eine staatliche südkoreanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Daejeon, die wissenschaftliche Geräte und Analytik für andere Forschungseinrichtungen bereitstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Halbleiter- und Elektronikbauelemente. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2002 bis 2025 ab.
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Vertreten von
Hengelhaupt, Jürgen
Berlin, Deutschland
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