Substratbehandlungseinrichtung und Substratbehandlungsverfahren
EP1696475
Art A1
30. August 2006
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1696475
- Aktenzeichen
- EP03770027
- Anmeldetag
- 30. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 30. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00B08B3/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Geyer, Ulrich F
München, Deutschland
481
Patente gesamt
29
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte