Verfahren und Vorrichtung zum Magnetronsputtern

EP1697555 Art B1 10. Februar 2010

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung der angewand ten Forschung e.v. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1697555
Aktenzeichen: EP04820407
Anmeldetag: 29. November 2004
Veröffentlichung: 10. Februar 2010
Erteilung: 10. Februar 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/35C23C14/56C23C14/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung der angewand ten Forschung e.v.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

10.117 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von