Verfahren zum Organisierten Wachsenlassen von Nanostrukturen

EP1697559 Art A1 6. September 2006

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, Commisariat à l'énergie Atomique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1697559
Aktenzeichen
EP04816590
Anmeldetag
21. Dezember 2004
Veröffentlichung
6. September 2006
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/04H01L21/265B82B3/00C23C16/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Commisariat à l'énergie Atomique
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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