Verfahren zur Inspektion einer Probe unter Verwendung Unterschiedlicher Inspektionsparameter
EP1697729
Art B1
10. November 2010
Anmelder: KLA-Tencor Corporation, KLA-Tencor Technologies Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1697729
- Aktenzeichen
- EP04788621
- Anmeldetag
- 3. September 2004
- Veröffentlichung
- 10. November 2010
- Erteilung
- 10. November 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- KLA-Tencor Corporation
KLA-Tencor Technologies Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Lohr, Georg
Puchheim, Deutschland
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