Randrad-Trockenverteiler
EP1697969
Art B1
28. Oktober 2009
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1697969
- Aktenzeichen
- EP04815000
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 28. Oktober 2009
- Erteilung
- 28. Oktober 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Wombwell, Francis
Birkenhead, Großbritannien
789
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte