Elektrostatische Mems-Komponenten, die eine Grosse Vertikale Verschiebung Gestatten

EP1698043 Art A1 6. September 2006

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) Etablissement Public à Caractère Scientifique et Technologique, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ( CEA) 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1698043
Aktenzeichen
EP04816606
Anmeldetag
23. Dezember 2004
Veröffentlichung
6. September 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H02N1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) Etablissement Public à Caractère Scientifique et Technologique
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ( CEA)
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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