Herstellungsverfahren für einen Siliziumwafer

EP1699074 Art B1 9. Dezember 2009

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1699074
Aktenzeichen
EP04793109
Anmeldetag
28. Oktober 2004
Veröffentlichung
9. Dezember 2009
Erteilung
9. Dezember 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/304H01L21/308
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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