Verfahren zur Herstellung eines Einseitig Spiegeloberflächenpolierten Wafers
EP1699075
Art B1
21. November 2012
Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1699075
- Aktenzeichen
- EP04819951
- Anmeldetag
- 3. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 21. November 2012
- Erteilung
- 21. November 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306B24B37/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMCO Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Vertreten von
Albrecht, Thomas
München, Deutschland
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