Plasmagenerator und Plasmaätzeinrichtung

EP1699076 Art A1 6. September 2006

Anmelder: SUMITOMO PRECISION PRODUCTS COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1699076
Aktenzeichen
EP04819806
Anmeldetag
29. November 2004
Veröffentlichung
6. September 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMITOMO PRECISION PRODUCTS COMPANY LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Precision Products

Sumitomo Precision Products ist ein japanischer Hersteller von Präzisionskomponenten mit Sitz in Amagasaki, der zur Sumitomo-Unternehmensgruppe gehört und unter anderem Fahrwerke für Flugzeuge sowie Wärmetauscher fertigt. Das Patentportfolio verteilt sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, Kühltechnik und Mess- und Prüftechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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