Plasmaverarbeitungsvorrichtung

EP1699077 Art B1 24. Februar 2010

Anmelder: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1699077
Aktenzeichen: EP04820676
Anmeldetag: 7. Dezember 2004
Veröffentlichung: 24. Februar 2010
Erteilung: 24. Februar 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/31C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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