System zur Beschichtung und Entwicklung

EP1701215 Art A3 4. April 2012

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1701215
Aktenzeichen: EP06004600
Anmeldetag: 7. März 2006
Veröffentlichung: 4. April 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/16G03F7/20G03F7/30H01L21/67H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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