Zusammensetzung zur Bildung einer Antireflexschicht, Laminat und Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur

EP1703327 Art B1 11. Mai 2011

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1703327
Aktenzeichen: EP06111200
Anmeldetag: 15. März 2006
Veröffentlichung: 11. Mai 2011
Erteilung: 11. Mai 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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