Immersionsbelichtungsgerät, Immersionsbelichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP1703329 Art A1 20. September 2006

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1703329
Aktenzeichen: EP06111260
Anmeldetag: 16. März 2006
Veröffentlichung: 20. September 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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