Dampfwachstum-Einrichtung und Herstellungsverfahren für einen Epitaxialwafer

EP1703550 Art B1 22. Mai 2019

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1703550
Aktenzeichen
EP04820495
Anmeldetag
18. November 2004
Veröffentlichung
22. Mai 2019
Erteilung
22. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/14C23C16/455H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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