Fotoresistzusammensetzungen und Benutzungsprozesse

EP1706791 Art B1 27. Juni 2018

Anmelder: MicroChem Corp., NIPPON KAYAKU CO., LTD., Microchem Corp., MacroChem Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1706791
Aktenzeichen
EP05704980
Anmeldetag
5. Januar 2005
Veröffentlichung
27. Juni 2018
Erteilung
27. Juni 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/038G03F7/004G03F7/30G03F7/40G03F7/11
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MicroChem Corp.
NIPPON KAYAKU CO., LTD.
Microchem Corp.
MacroChem Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇯🇵 Nippon Kayaku

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Spezialchemikalien, Pharmazeutika und Farbstoffe.

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