Segmentierte Hochfrequenz-Elektrodenvorrichtung und Verfahren zur Gleichförmigkeitssteuerung
EP1706892
Art A2
4. Oktober 2006
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1706892
- Aktenzeichen
- EP04813703
- Anmeldetag
- 10. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 4. Oktober 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F1/00H01L21/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Gritschneder, Martin
München, Deutschland
455
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18
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