Prüfgerät mit Kontaktnadeln und Verfahren zur Erfassung von Lageabweichungen

EP1707971 Art A1 4. Oktober 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1707971
Aktenzeichen: EP06006237
Anmeldetag: 27. März 2006
Veröffentlichung: 4. Oktober 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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