Oberschichtfilmbildungszusammensetzung zur Flüssigkeitsimmersion und Verfahren zur Herstellung einer Fotoresiststruktur

EP1708027 Art B1 13. März 2019

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1708027
Aktenzeichen
EP05703585
Anmeldetag
14. Januar 2005
Veröffentlichung
13. März 2019
Erteilung
13. März 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/11G03F7/20H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik
Vertreten von
Leson, Thomas Johannes Alois München, Deutschland
601
Patente gesamt
30
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik
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