Entwicklungseinrichtung und Entwicklungsverfahren

EP1708252 Art A1 4. Oktober 2006

Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1708252
Aktenzeichen: EP04807773
Anmeldetag: 24. Dezember 2004
Veröffentlichung: 4. Oktober 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/30H01L21/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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