Chemisch-Mechanisches Polieren von Metallen in Oxidierter Form
EP1709130
Art A2
11. Oktober 2006
Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1709130
- Aktenzeichen
- EP05704970
- Anmeldetag
- 5. Januar 2005
- Veröffentlichung
- 11. Oktober 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09G1/02H01L21/321H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Cabot Microelectronics Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cabot Microelectronics
Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.
290 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Trueman, Lucy Petra
Birmingham, Großbritannien
598
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34
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14
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Schwerpunkte