Differentielle Metrologie für Kritische Abmessung und Überlagerung
EP1709490
Art B1
4. August 2010
Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1709490
- Aktenzeichen
- EP03800269
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 4. August 2010
- Erteilung
- 4. August 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F9/00G01B9/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- International Business Machines Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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Vertreten von
Waldner, Philip
Winchester, Großbritannien
127
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2
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