Verfahren zur Herstellung eines Druckstempels mit Mikro- und Nanostrukturen für Nanoimprint und Verwendung der Form für eine Nanoimprint-Vorrichtung

EP1710624 Art A3 1. August 2007

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1710624
Aktenzeichen
EP06003314
Anmeldetag
17. Februar 2006
Veröffentlichung
1. August 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00B81C1/00G03F1/00// G11B7/26B29C45/26G11B5/84G11B5/855
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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