Verfahren zur Herstellung eines Druckstempels mit Mikro- und Nanostrukturen für Nanoimprint und Verwendung der Form für eine Nanoimprint-Vorrichtung
EP1710624
Art A3
1. August 2007
Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1710624
- Aktenzeichen
- EP06003314
- Anmeldetag
- 17. Februar 2006
- Veröffentlichung
- 1. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00B81C1/00G03F1/00// G11B7/26B29C45/26G11B5/84G11B5/855
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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Vertreten von
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Beetz & Partner mbB
Beetz & Partner mbB · München
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Beetz & Partner
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