Magnetanordnung für ein Planar-Magnetron
EP1710829
Art A1
11. Oktober 2006
Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1710829
- Aktenzeichen
- EP05007339
- Anmeldetag
- 5. April 2005
- Veröffentlichung
- 11. Oktober 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Films GmbH & Co. KG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Schickedanz, Willi
Offenbach, Deutschland
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