Schieber für Vakuumbehandlungseinrichtung

EP1712822 Art B1 5. Dezember 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1712822
Aktenzeichen: EP06007596
Anmeldetag: 11. April 2006
Veröffentlichung: 5. Dezember 2007
Erteilung: 5. Dezember 2007
Rechtsraum: EP
IPC: F16K51/02F16K31/528

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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