Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1713114 Art B1 19. September 2018

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1713114
Aktenzeichen: EP05709451
Anmeldetag: 28. Januar 2005
Veröffentlichung: 19. September 2018
Erteilung: 19. September 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G01B11/00G01B11/02G01B11/24G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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