Cmut-Vorrichtungen und Herstellungsverfahren

EP1713399 Art A2 25. Oktober 2006

Anmelder: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1713399
Aktenzeichen
EP05713072
Anmeldetag
7. Februar 2005
Veröffentlichung
25. Oktober 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00H01L21/20H01L27/14H02N2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Georgia Tech Research Corporation

Die Georgia Tech Research Corporation ist die Einrichtung des Georgia Institute of Technology in den USA, die Forschungsverträge verwaltet und geistiges Eigentum der Universität lizenziert.

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