Verfahren zur Herstellung von Siliciumnitridfilmen und Siliciumoxidnitridfilmen durch Chemische Dampfabscheidung
EP1713953
Art A2
25. Oktober 2006
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'air liquide, Société anonyme à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés G. Claude 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1713953
- Aktenzeichen
- EP05702330
- Anmeldetag
- 19. Januar 2005
- Veröffentlichung
- 25. Oktober 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/34C23C16/30
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'air liquide, Société anonyme à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés G. Claude - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
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Fachgebiete
Vertreten von
Vesin, Jacques
Paris, Frankreich
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16
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2
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