Vorrichtung und Verfahren zur Teilchenprüfung, Belichtungsgerät und Herstellungsverfahren
EP1715329
Art A1
25. Oktober 2006
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1715329
- Aktenzeichen
- EP06003289
- Anmeldetag
- 17. Februar 2006
- Veröffentlichung
- 25. Oktober 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/94G01N21/47H01L21/66G03F1/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
19.221 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Weser, Wolfgang
München, Deutschland
869
Patente gesamt
26
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte