Bohrvorrichtung und -verfahren für Glimmentladung

EP1715504 Art A3 4. Mai 2011

Anmelder: HORIBA, LTD., Keio University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1715504
Aktenzeichen: EP06008021
Anmeldetag: 18. April 2006
Veröffentlichung: 4. Mai 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/31G01N21/67// H01J37/301

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HORIBA, LTD.
Keio University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Keio University

Die Keio University ist eine private Universität in Tokio, Japan, die in zahlreichen Fachrichtungen von Wirtschaft bis Ingenieurwissenschaften lehrt und forscht.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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