Verfahren zur Herstellung von Siliziumfilmen

EP1715509 Art B1 24. August 2011

Anmelder: JSR Corporation, SEIKO EPSON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1715509
Aktenzeichen
EP06076494
Anmeldetag
29. März 2000
Veröffentlichung
24. August 2011
Erteilung
24. August 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/208C01B33/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JSR Corporation
SEIKO EPSON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

1.781 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Epson

Japanisches Unternehmen, das Drucker, Scanner, Projektoren sowie Uhrwerke und Sensortechnik entwickelt und herstellt.

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