Verfahren zur Bereitstellung eines Dünnfilms mit einer Räumlich in einem Mikrometrischen oder Nanometrischen Massstab auf einem Substrat Strukturierten Chemischen Zusammensetzung

EP1716452 Art B1 10. September 2008

Anmelder: Scriba Nanotecnologie S.r.l., Consejo Superior De Investigaciones Científicas (CSIC), CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS (CSIC), Cavallini, Massimiliano, Biscarini, Fabio 🇮🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1716452
Aktenzeichen
EP05715334
Anmeldetag
15. Februar 2005
Veröffentlichung
10. September 2008
Erteilung
10. September 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Scriba Nanotecnologie S.r.l.
Consejo Superior De Investigaciones Científicas (CSIC)
CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS (CSIC)
Cavallini, Massimiliano
Biscarini, Fabio
Land
🇮🇹 Italien
🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

Größte staatliche Forschungseinrichtung Spaniens mit Sitz in Madrid, tätig in nahezu allen Wissenschaftsbereichen von Naturwissenschaften bis Geisteswissenschaften. Die Institution (CSIC) betreibt zahlreiche Forschungszentren im ganzen Land.

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