Projektionssystem mit einem polarisationsmodulierenden optischen Element mit variabler Dicke
EP1716457
Art B9
4. April 2012
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1716457
- Aktenzeichen
- EP05706888
- Anmeldetag
- 14. Januar 2005
- Veröffentlichung
- 4. April 2012
- Erteilung
- 4. April 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20// G02B5/30G02B27/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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