System und Verfahren zur Flussüberwachung und -Steuerung

EP1716516 Art A1 2. November 2006

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1716516
Aktenzeichen
EP05722929
Anmeldetag
9. Februar 2005
Veröffentlichung
2. November 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G05D7/06G01F1/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Kanzlei
Wörz Patentanwälte PartG mbB Stuttgart, Deutschland

Kanzlei mit Stammsitz Stuttgart und Standort Heilbronn, über 25 Jahre Erfahrung im gewerblichen Rechtsschutz. Berät zu Patenten, Marken und Designs auf Deutsch, Englisch und Italienisch, mit besonderem Bezug zu italienischen Geschäftspartnern.

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