Prozess und Vorrichtung zum Entfernen von Resten von Halbleitersubstraten
EP1716587
Art A2
2. November 2006
Anmelder: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1716587
- Aktenzeichen
- EP05723478
- Anmeldetag
- 15. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 2. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Battelle Memorial Institute
Gemeinnützige US-amerikanische Forschungsorganisation mit Sitz in Columbus, Ohio, die angewandte Forschung und Entwicklung in Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.
1.322 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Brown, Fraser Gregory James
London, Großbritannien
368
Patente gesamt
31
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte