Verfahren zum Selektiven Ätzen
EP1716589
Art A1
2. November 2006
Anmelder: IMEC, Lam Research AG, SEZ AG, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1716589
- Aktenzeichen
- EP05707955
- Anmeldetag
- 7. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 2. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311// H01L29/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Lam Research AG
SEZ AG
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte