Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Halbleitern mittels Laserstrahlung

EP1716964 Art B1 21. Januar 2009

Anmelder: Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd., SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1716964
Aktenzeichen
EP06008671
Anmeldetag
26. April 2006
Veröffentlichung
21. Januar 2009
Erteilung
21. Januar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
B23K26/067H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd.
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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