Extrem-UV-Belichtungsapparat und Extrem-UV-Strahlungsquelle
EP1717638
Art B1
24. August 2016
Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha, USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1717638
- Aktenzeichen
- EP06008653
- Anmeldetag
- 26. April 2006
- Veröffentlichung
- 24. August 2016
- Erteilung
- 24. August 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ushio Denki Kabushiki Kaisha
USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ushio Inc.
Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.
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